離子減薄儀

離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸詚ui小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀的工作原理

氬氣的電離采用高壓來進行，在電場是作用下，電離后的氬離子對樣品表面進行轟擊。在氬離子的持續轟擊下，樣品慢慢減薄，一直到使透射電鏡觀察要求滿足，此即為離子減薄儀的工作原理。氬離子拋光儀和離子減薄儀有著相同的原理，也是通過氬離子對樣品表面進行轟擊，使得樣品表面變得平整光滑，因此該儀器大體上不需要太多的改變。

離子減薄儀為專門為透射樣品的制備而設計的儀器（透射電鏡樣品為厚度為幾微米，直徑為三毫米的薄片）。為了使設備工作條件得到滿足。需要預處理掃描電鏡樣品，shou先將樣品切割成一毫米厚的薄片，再使用砂紙打磨樣品，在打磨樣品表面的時候，需要從粗到細地對砂紙進行選擇。

透射電鏡樣品具有非常小的尺寸，需要在載片中間的小孔上粘樣品。掃描電鏡觀察的樣品尺寸要遠遠大于透射樣品。為了使效率提高，樣品一次能夠多放幾個，在樣品臺上用熱熔膠固定，之后所要做的工作就是對包括電壓、氬離子流，樣品傾角、拋光時間等工作參數進行調整。工作電壓和氬離子流的增加能夠使拋光效率有所提高，然而若這兩個參數過高，容易損傷樣品。

離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸詚ui小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀操作規程：

操作前準備

1.對是否仍然有氬氣存在于氬鋼瓶中進行確認，25PSI為輸出壓力。

2、將左右離子槍氬氣關掉，將載臺上升，儀器真空能夠達到5E-4帕。

3、對左右離子槍離子束是否對中進行確定。

試片交換

1、采用試片座固定好試片，并且往zhong心移動待減區。

2、將stage按住，上滑綠色箭頭使載臺上升，將vent按住，將預抽室上蓋取下

3、往預抽室樣品座放入試片座，將預抽室上蓋蓋上。

4、將stage按住，下滑綠色箭頭使載臺下降，等到指示燈從黃變綠就行

減簿及觀察

1、對所需的減薄時間進行設定。

2、對工作電壓進行設定（通常設定成4或者5Kev）

3、對離子槍工作模式進行設定（通常設定成雙離子束調變）

4、對左右離子槍工作角度進行調整（通常為±4度）

5、將氬氣工作模式調整為自動氣體

6、對載臺轉速進行設定（通常是3RPM）

7、對啟動進行點擊開始工作。

8、在工作期間能夠對Viewing 選項進行點擊，通過CCD來對樣品減薄情況進行觀察。

9、樣品穿孔后能夠對低電壓進行更換繼續減薄，一直到薄區良好。

離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸詚ui小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀功能開發作用及意義

頁巖氣為一種非常規且十分重要的油氣資源。在21世紀，美國在頁巖氣開發方面所取得的進展相當迅速，使大規模工業化開采得以實現，使得大舉進口天然氣的局面得到改變，提高了全面的自給自足的可能性，還非常有希望變成液化天然氣出口國。我國的頁巖氣資源也同樣蘊藏豐富，然而我國的頁巖氣有著更大的開采難度，頁巖氣要深于美國非常多。到目前為止，勘探開發依然處在初級階段，有待開展許多基礎研究工作，在這當中，有著重要的研究價值的就是作為頁巖氣儲存空間及流通通道的微孔隙及微裂縫。頁巖樣品的氬離子拋光由于對離子減薄儀的功能開發而得以實現，并且頁巖中各種類型的微孔隙及微裂縫成功地用掃描電鏡觀察到了，提供一個深入研究頁巖的有效方法。對離子減薄儀的功能開發，不僅使科研對氬離子拋光儀的急需得到滿足，與此同時也使儀器利用率得到提高，使實驗室的服務項目得到增加。

離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸詚ui小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。

離子減薄儀注意事項

日常關機

平常結束使用之后沒有必要關機

停電關機

1、對氬氣鋼瓶關緊與否進行確認。

2、將總電源關掉。

復電開機

1、將氬氣鋼瓶打開

2、將總電源打開

3、對離子槍進行吹掃，從而將離子槍表面水氣去除，防止由于空氣污染導致離子槍不穩定，當室內壓力比5-3e帕要低時，將兩個氣閥開關打開，凈化15分鐘，當離子槍束流值在在5KeV，比8μA低時能夠停止。

4、必須要等到真空度達到5-4e帕才能夠進行正常的工作。

5、當將離子槍拆下又重新裝回需要對離子槍束流和離子束位置進行調整

離子減薄儀技術指標

1、樣品臺傾斜范圍：-120到210度，精度為0.1度

2、SEM平面研磨臺：zui大φ25毫米×12毫米，TEM和FIB樣品臺：φ3毫米。

3、能夠設定終止加工透光量閾值來使遠程控制得以實現。

4、冷凍系統使制樣過程溫度不超過25攝氏度得到保證。

5、獨立雙氬離子源，能夠傾斜±45度。

6、10度范圍內小角度減薄單面和雙面，能夠使大面積離子拋光或減薄得以實現。

7、粒子能量：800伏-10千伏可調，補償0.1千伏，離子束流：zui高4.5毫安。